ERH
アルバック販売株式会社

アルバック販売株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

228.6時間

全型番で同じ値の指標

到達圧力

8.0×10-4Pa 6.0×10-4Pa (液体窒素使用時)

排気時間

4.0×10-3Pa/15min 3.0×10-3Pa/15min (液体窒素使用時)

真空槽

ガラスベルジャー (内径φ300mm×高さ300mm)

フィードスルカラー

12ポート (側面8/底面4)

基板推奨サイズ・最大サイズ※1

□50mm ・ □140mm (Max) ※1：最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。

蒸発電極構成

1点式

蒸発電源・数量

SEREM PSE-150C 1 式 0~10V 150A (Max)

メインポンプ

油拡散ポンプ (空冷) (200L/sec)

液体窒素トラップ

有り

補助ポンプ

油回転真空ポンプ (100L/min)

オイルミストトラップ

インライントラップ OMI-100

メインバルブ

バタフライバルブ

補助バルブ

三方向バルブ

自動リークバルブ

オプション

操作

手動

ピラニ真空計

GP-1G

電離真空計

GI-M2

本体最大寸法

730mm (W) ×603mm (D) ×1,161mm (H)

電源最大寸法

480mm (W) ×435.3mm (D) ×149mm (H)

本体質量

145kg

電源質量

40kg

所要電気量本体

100V 単相 50/60Hz 1.4kVA

所要電気量電源

200V 単相 50/60Hz 1.5kVA

アース端子

D種 (接地抵抗値 100Ω以下)

取り合い本体 1φ100V

ビニルキャプタイヤケーブル (R3.5-4 圧着端子付) 4m

取り合い電源 1φ200V

ビニルキャプタイヤケーブル (R2.0-5 圧着端子付) 2m

全1種類の型番を一覧でみる

この製品について

■概要空冷式油拡散ポンプ＋油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納。小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。DEPOXシリーズの詳しい操作手順をYoutubeにて公開しています。お役立てください。

■特徴・キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。
・ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
・メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
・蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着が可能です。
・RoHS対応

型番
VFR-200M/ERH

シリーズ
小型真空蒸着装置 VFR-200M/ERH

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

蒸着装置

この商品に関する問題を報告する

140人以上が見ています

最新の閲覧: 10時間前

返答率: 100.0%

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

蒸着装置注目ランキング

蒸着装置の製品91点中、注目ランキング上位6点

薄膜形成装置標準型蒸着装置

神港精機株式会社

610人以上が見ています

最新の閲覧: 13時間前

真空蒸着装置 TMP 排気・清浄真空 VE-2030

株式会社真空デバイス

500人以上が見ています

最新の閲覧: 7時間前

薄膜形成装置リフトオフプロセス対応蒸着装置

神港精機株式会社

490人以上が見ています

最新の閲覧: 9時間前

真空蒸着装置小型デスクトップ高真空蒸着装置 VE-2013

株式会社真空デバイス

480人以上が見ています

最新の閲覧: 14時間前

薄膜形成装置研究開発用蒸着装置

神港精機株式会社

440人以上が見ています

最新の閲覧: 12時間前

薄膜形成装置ロードロック型蒸着装置

神港精機株式会社

440人以上が見ています

最新の閲覧: 10時間前

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

見積もりの使い方

蒸着装置注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

MBE装置

アリオス株式会社

200人以上が見ています

最新の閲覧: 9時間前

返答時間: 1.42時間

薄膜作製装置マグネトロン・スパッタリング蒸着装置

北野精機株式会社

190人以上が見ています

最新の閲覧: 11時間前

返答時間: 22.53時間

金属蒸着セル 1元蒸着簡易セル KMDS-Cell

北野精機株式会社

170人以上が見ています

最新の閲覧: 14時間前

返答時間: 22.53時間

粒子表面成膜用ドラムスパッタ装置

アリオス株式会社

170人以上が見ています

最新の閲覧: 14時間前

返答時間: 1.42時間

有機蒸着セル KOD-Cell

北野精機株式会社

170人以上が見ています

最新の閲覧: 11時間前

返答時間: 22.53時間

薄膜作製装置 PVD装置ハイブリッド蒸着装置

北野精機株式会社

160人以上が見ています

最新の閲覧: 11時間前

返答時間: 22.53時間

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

見積もりの使い方

小型真空蒸着装置 VFR-200M/ERH VFR-200M/ERHの性能表

商品画像	価格 (税抜)	到達圧力	排気時間	真空槽	フィードスルカラー	基板推奨サイズ・最大サイズ※1	蒸発電極構成	蒸発電源・数量	メインポンプ	液体窒素トラップ	補助ポンプ	オイルミストトラップ	メインバルブ	補助バルブ	自動リークバルブ	操作	ピラニ真空計	電離真空計	本体最大寸法	電源最大寸法	本体質量	電源質量	所要電気量本体	所要電気量電源	アース端子	取り合い本体 1φ100V	取り合い電源 1φ200V
	要見積もり	8.0×10-4Pa 6.0×10-4Pa (液体窒素使用時)	4.0×10-3Pa/15min 3.0×10-3Pa/15min (液体窒素使用時)	ガラスベルジャー (内径φ300mm×高さ300mm)	12ポート (側面8/底面4)	□50mm ・ □140mm (Max) ※1：最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。	1点式	SEREM PSE-150C 1 式 0~10V 150A (Max)	油拡散ポンプ (空冷) (200L/sec)	有り	油回転真空ポンプ (100L/min)	インライントラップ OMI-100	バタフライバルブ	三方向バルブ	オプション	手動	GP-1G	GI-M2	730mm (W) ×603mm (D) ×1,161mm (H)	480mm (W) ×435.3mm (D) ×149mm (H)	145kg	40kg	100V 単相 50/60Hz 1.4kVA	200V 単相 50/60Hz 1.5kVA	D種 (接地抵抗値 100Ω以下)	ビニルキャプタイヤケーブル (R3.5-4 圧着端子付) 4m	ビニルキャプタイヤケーブル (R2.0-5 圧着端子付) 2m