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閲覧履歴
型式
G4.5
タイプ
X-type
基板サイズ (mm)
730X920
仕込／取出室
2
加熱室
1
搬送室
1
スパッタ室
2 (Up to 3 cathodes)
高真空排気系
クライオポンプ or ターボ分子ポンプ
基板移載システム
1 or 2段アーム
型番
SMD-950Xシリーズ
スパッタリング装置 SMDシリーズ取扱企業
アルバック販売株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2025年8月7日にレビュー済み
顧客対応への満足度
フォームを経由し、非常にわかりやすくスムーズなお問い合わせのご対応をいただけました。誠にありがとうございます。
初回対応までの時間への満足度
1.11時間
Metoree経由で見積もり
2025年7月28日にレビュー済み
顧客対応への満足度
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初回対応までの時間への満足度
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スパッタリング装置の製品119点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 型式 | タイプ | 基板サイズ (mm) | 仕込／取出室 | 加熱室 | 搬送室 | スパッタ室 | 高真空排気系 | 基板移載システム |
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要見積もり | G4.5 | X-type | 730X920 | 2 | 1 | 1 | 2 (Up to 3 cathodes) | クライオポンプ or ターボ分子ポンプ | 1 or 2段アーム |
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使用用途が絶縁膜の製品
スパッタリング装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産スパッタ方式
DCスパッタ型 RFスパッタ型 マグネトロンスパッタ型 グロー放電スパッタ型成膜環境
高真空型 中真空型ターゲット構成
単一ターゲット型 多元ターゲット型 ロータリターゲット型対象搬送方式
静止基板型 回転基板型 スルーフィード型処理基板 mm
20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700スパッタ方向
アップ ダウン装置構成
エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室基板加熱 ℃
100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800
