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返答率
100.0%
返答時間
239.7時間
型式
G4.5
タイプ
X-type
基板サイズ (mm)
730X920
仕込/取出室
2
加熱室
1
搬送室
1
スパッタ室
2 (Up to 3 cathodes)
高真空排気系
クライオポンプ or ターボ分子ポンプ
基板移載システム
1 or 2段アーム
型番
SMD-950Xシリーズ
スパッタリング装置 SMDシリーズ取扱企業
アルバック販売株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 型式 | タイプ | 基板サイズ (mm) | 仕込/取出室 | 加熱室 | 搬送室 | スパッタ室 | 高真空排気系 | 基板移載システム |
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要見積もり | G4.5 | X-type | 730X920 | 2 | 1 | 1 | 2 (Up to 3 cathodes) | クライオポンプ or ターボ分子ポンプ | 1 or 2段アーム |
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