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裏面・実装用スパッタリング装置 SRHシリーズ-アルバック販売株式会社

SRHシリーズ | 裏面・実装用スパッタリング装置 SRHシリーズ
アルバック販売株式会社

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この製品について

■概要

裏面・実装用スパッタリング装置 SRHシリーズは、パワーデバイス、WL-CSP、UBMなどの金属成膜を行うことを目的とした量産用の装置です。

■用途

・パワーデバイス ・WL-CSP (電解メッキのシード層用) ・UBM (バリアメタル)

■特長

・φ125〜φ200mm基板に対応 ・極薄ウェーハ対応 (厚さ50μmまでの自動搬送に対応) ・最大5プロセスに対応 ・ISM方式によるスパッタエッチングを搭載可能 ・ESCによる効率の良い冷却が可能

  • 型番

    SRHシリーズ

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使用用途

#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産

処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

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アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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