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スパッタ装置-長州産業株式会社

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この製品について

長州産業独自の技術を搭載する対向ターゲット方式「ミラートロンスパッタ装置」を提供しています。低プラズマダメージ、低基板温度を実現しながら、ご希望の機能性膜が得られます。有機EL分野では、トップエミッション構造における透明導電膜の形成、封止膜の形成に最適です。 有機太陽電池や有機半導体などの有機デバイス、電子部品、樹脂フィルム等の様々な分野において、最適なプロセスを提供しています。その他、平行平板方式、円筒方式のスパッタ装置も提供しています。

  • 型番

    スパッタ装置

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使用用途

#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産

処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

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会社概要

長州産業株式会社は1980年に設立された、太陽光発電システム・有機ELデバイスなどの製造をしている会社です。 太陽光発電システム・蓄電システムの製造・販売を行うエネルギー機器事業、蒸着装置・蒸着制御ユニットの製造及...

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  • 本社所在地: 山口県

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