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ホットワイヤー方式 ダイヤモンド合成装置-北野精機株式会社

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試料サイズ

100mm

ホットワイヤー

φ0.6タングステン

ヒーター電源

AC/DC35kW

基板加熱温度

Max800℃

TCモニター

6点

ガスライン

混合2系統

この製品について

■特徴

本装置は、タングステンフィラメントを使用したホットワイヤー型CVD装置で、プラズマ損傷の無い大面積と高純度薄膜成形の特徴を持っており、P・N型半導体ダイヤモンド合成や結晶シリコン太陽電池など電子デバイスの分野で多く使用されています。 本装置は分割式のチャンバー構造により、容易にメンテナンスやハード条件だしの変更が可能で、ライン構成の操作盤によりガスラインを含め操作部が前面に集約されている事で操作性良く出来ています。

■構成

・φ600高真空水冷チャンバー ・TMP&RP排気ユニット ・チャンバー昇降機構 ・ガス混合パネル (IN4系OUT2系) ・バブラー恒温層

  • 型番

    ダイヤモンド合成装置

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ホットワイヤー方式 ダイヤモンド合成装置 ダイヤモンド合成装置の性能表

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ホットワイヤー方式 ダイヤモンド合成装置-品番-ダイヤモンド合成装置 要見積もり ≦1.0E-5Pa 100mm φ0.6タングステン AC/DC35kW Max800℃ 6点 混合2系統

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使用用途

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プラズマ励起方式

容量結合型 誘導結合型 マイクロ波型 パルス電源型

反応場構成

リモート型 平行平板型 シャワーヘッド型 チャンバー分割型

基板処理方式

枚葉式 バッチ式 インライン連続式 立体部品支持式

基板加熱温度 ℃

0 - 300 300 - 500 500 - 800 800 - 1,000 1,000 - 1,200

制御操作

PC PLC タッチパネル

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北野精機株式会社は、研究開発向けの真空装置・極低温機器・薄膜作製装置などを設計・製作するメーカーです。 CVD・MBE・スパッタや有機EL蒸着装置・超高真空チャンバー・真空用位置決め機構・ヒーター・精密部品まで個別受注...

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