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金属蒸着セル 1元蒸着簡易セル KMDS-Cell-北野精機株式会社

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ルツボ容量

1~3cc

接続フランジ

ICF-114FH

ルツボ材質

シェイパル、アルミナ

ヒーター

W (Tungsten)

熱シールド

Mo二重シールド方法

シャッター機構

オプション

この製品について

■特徴

・コンパクトで手軽に使用可能な蒸着源 ・メンテナンスが容易 ・通電加熱用フィラメント加熱式のルツボ構成 ・ルツボ容量は1cc~3ccと幅広い用途

■応用蒸発材料

・Al (Aluminum) ・Cu (Copper) ・Au (Gold) ・In (Indium) ・Ca (Calcium) ・LiF (Lithium Fluoride)

  • 型番

    KMDS-Cell

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金属蒸着セル 1元蒸着簡易セル KMDS-Cell KMDS-Cellの性能表

商品画像 価格 (税抜) ルツボ容量 接続フランジ ルツボ材質 ヒーター 熱シールド シャッター機構
金属蒸着セル 1元蒸着簡易セル KMDS-Cell-品番-KMDS-Cell 要見積もり 1~3cc ICF-114FH シェイパル、アルミナ W (Tungsten) Mo二重シールド方法 オプション

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使用用途

#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜

排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1,000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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  • 本社所在地: 東京都

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