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加熱制御温度
100℃~500℃
ルツボ材質
シェイパル、高密度カーボン、アルミナ、石英ガラス、AlN
ルツボ容量
10cc/4cc
電源コントローラ
主電源AC100V、PID制御
接続フランジ
ICF-70FH
ヒーター
シース型
最大動作安定温度
500℃
温度安定性
±0.2℃
熱電対
K型 (C/A)
シャッター機構
手動式/圧空式
蒸着レート
0.01Å/sが容易に制御可能 (Cygnus (Inficon社) を推奨)
型番
KOD-CellⅡシリーズ
有機蒸着セルⅡ型 KOD-CellⅡ取扱企業
北野精機株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 加熱制御温度 | ルツボ材質 | ルツボ容量 | 電源コントローラ | 接続フランジ | ヒーター | 最大動作安定温度 | 温度安定性 | 熱電対 | シャッター機構 | 蒸着レート |
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¥680,000 | 100℃~500℃ | シェイパル、高密度カーボン、アルミナ、石英ガラス、AlN | 10cc/4cc | 主電源AC100V、PID制御 | ICF-70FH | シース型 | 500℃ | ±0.2℃ | K型 (C/A) | 手動式/圧空式 | 0.01Å/sが容易に制御可能 (Cygnus (Inficon社) を推奨) |
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