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有機蒸着セルⅡ型 KOD-CellⅡ-北野精機株式会社

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加熱制御温度

100℃~500℃

ルツボ材質

シェイパル、高密度カーボン、アルミナ、石英ガラス、AlN

ルツボ容量

10cc/4cc

電源コントローラ

主電源AC100V、PID制御

接続フランジ

ICF-70FH

ヒーター

シース型

最大動作安定温度

500℃

温度安定性

±0.2℃

熱電対

K型 (C/A)

シャッター機構

手動式/圧空式

蒸着レート

0.01Å/sが容易に制御可能 (Cygnus (Inficon社) を推奨)

この製品について

■特徴

・ICF-70によるコンパクト/省スペース設計 ・シャッター機構標準装備 ・±0.1℃による温度設定が可能 ・ルツボは、4ccで、幅広い用途、手軽な使用が可能です ・厳選された材料を使用し、シンプルな構造によりメンテナンスも容易です ・シースヒーター材を使用しておりますので均一な温度が保てます ・非常に軽量の為、設置や取り外しが容易に可能です ・接続フランジは、ガスケットタイプですが、自由にカスタム製作可能です ・洗浄方法は超音波洗浄機に入れるだけで、有機材料を取り除くことが可能です

■用途

・高蒸気圧材料薄膜の成長 ・有機物薄膜の成長 ・金属薄膜の成長 (低温蒸着用)

  • 型番

    KOD-CellⅡ

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有機蒸着セルⅡ型 KOD-CellⅡ KOD-CellⅡの性能表

商品画像 価格 (税抜) 加熱制御温度 ルツボ材質 ルツボ容量 電源コントローラ 接続フランジ ヒーター 最大動作安定温度 温度安定性 熱電対 シャッター機構 蒸着レート
有機蒸着セルⅡ型 KOD-CellⅡ-品番-KOD-CellⅡ ¥680,000 100℃~500℃ シェイパル、高密度カーボン、アルミナ、石英ガラス、AlN 10cc/4cc 主電源AC100V、PID制御 ICF-70FH シース型 500℃ ±0.2℃ K型 (C/A) 手動式/圧空式 0.01Å/sが容易に制御可能 (Cygnus (Inficon社) を推奨)

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排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1,000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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