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処理ワーク
2000シリーズ Φ150~200mmウェーハ (+1.0) 3000シリーズ Φ200~300mmウェーハ (+1.0)
支持体基板
GLASS。処理ワークの0.5~1.0mmの大口径のものを推奨。
スピンカップ
搭載 (有機溶剤の使用なし)
貼り合わせ機構
搭載
カセット形式
2000シリーズ通常OPENまたは、倍ピッチカセット 3000シリー ズ FOUP/FOSB
型番
TWSシリーズ 塗布貼合装置取扱企業
タツモ株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 処理ワーク | 支持体基板 | スピンカップ | 貼り合わせ機構 | カセット形式 | その他 |
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要見積もり |
2000シリーズ Φ150~200mmウェーハ (+1.0) 3000シリーズ Φ200~300mmウェーハ (+1.0) |
GLASS。処理ワークの0.5~1.0mmの大口径のものを推奨。 | 搭載 (有機溶剤の使用なし) | 搭載 |
2000シリーズ通常OPENまたは、倍ピッチカセット 3000シリー ズ FOUP/FOSB |
安全仕様準挻 |
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