シリコン・オン・サファイア技術、及びひずみゲージを使用し、圧力を電気信号として測定する高精度、長期安定型の圧力センサーです。測定目的により各種測定器に接続し、圧力の表示、記録、制御、監視などを行います。

シリコン・オン・サファイア (SOS) 技術とは、サファイア (Al2O3単結晶) 基板上にシリコン薄膜を結晶成長 (エピタキシャル成長) させ、シリコン半導体に加工してひずみゲージを形成するものです。このシリコン半導体ひずみゲージとサファイア基板 (圧力計のダイヤフラム) とは原子レベルで結合している為、安定性に優れた圧力センサーを実現します。

■高精度ダイヤフラムの素材であるサファイアはアルミ酸化物の単結晶であり、応答性が高く、直線性とヒステリシス特性に極めて優れています。

■高信頼性シリコン半導体ひずみゲージはサファイア基板に原子結合している為、極めて安定した特性と高い信頼性を保ちます。負圧側の負荷特性も正圧側とどうレベルに維持されるので、高精度の連成圧が測定可能です。

■高耐熱性SOS技術におけるサファイア基板はそれ自体が高絶縁体であり、350℃の高温環境下でもセンサーとしての使用が可能です。

■水素ガス適合性サファイアは水素ガス適合性に優れ、透過・脆化の問題を解決します。

■用途・建設機械の油圧管理
・狭い場所などのパイプ内圧力計測
・空調装置などの冷媒圧力監視
・ガス封入容器の品質管理
・用途に応じて、サイズ、形状、仕様精度など対応可能ですので、機器組み込みセンサーとして幅広く活用されています。

型番
ns30t

シリーズ
SOS方式圧力計

取扱企業
三友電子工業株式会社

カテゴリ

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圧力計

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SOS方式圧力計 ns30tの性能表

商品画像	価格 (税抜)	定格容量	許容過負荷	限界過負荷	精度	出力	推奨印加電圧	最大印加電圧	入力抵抗	出力抵抗	零バランス	絶縁抵抗	温度補償範囲	許容温度範囲	零点の温度影響	出力の温度影響	圧入導入口	カバー	受圧部	取付ネジ	IP等級	ケーブル長	締め付けトルク	質量
	要見積もり	200,500kPa,1,2,5,10MPa	200%R.C.	300%R.C.	0.2%R.C. (高精度型0.1％R.O.) (非直線性、ヒステリシス、繰り返し性を含む)	200、500KPa：1.0mV/V±10％ 1MPa to 10MPa：1.5mV/V±10％	10V	15V	700to1,000Ω	700to1,000Ω	±0.05mV/V	5,000MΩ以上	-20℃to120℃	-40℃to160℃	0.2%R.O./10℃	0.2%LOAD/10℃	SUS304L	ステンレス	サファイア	R1/8	65相当	Φ3.8 4芯シールド付高温ケーブル3m直結先端バラ線処理	10N・m to 20N・m	約50g (本体のみ)