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メーカー
(株) 昭和真空
到着圧力
6.7×10-5Pa以下
排気速度
大気圧より4.0×10-4Paまで20分以内
蒸発源
電子銃270°偏向、電源16kW
基板加熱
MAX150℃ 常用100℃
膜厚分布
±1％以内 (バッチ内、バッチ間) T/S=900mm
排気系
クライオポンプ、ドライポンプ、メカニカルブースターポンプ
真空槽サイズ
W800mm×D800mm×H1,300mm、SUS304製
フットプリント
W3,700mm×D4,300mm×H2,400mm
電力 本体
φ3 200V 約40KVA (115A)
電力 蒸発源
φ3 200V 約25KVA (73A)
水量
0.2MPa以上 (差圧) 、44L/min、20~25℃
圧空
0.7MPa (設定圧0.5MPa) 、接続口径Rc1/2
ガス圧力
0.05MPa (設定圧0.02MPa) 、接続口径SWL1/4
型番
SEC-22C取扱企業
三弘エマテック株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2024年9月6日にレビュー済み
顧客対応への満足度
迅速な回答、説明があった。
初回対応までの時間への満足度
27.47時間
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蒸着装置の製品121点中、注目ランキング上位6点
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一括見積もり
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返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | メーカー | 到着圧力 | 排気速度 | 蒸発源 | 基板加熱 | 膜厚分布 | 排気系 | 真空槽サイズ | フットプリント | 電力 本体 | 電力 蒸発源 | 水量 | 圧空 | ガス圧力 |
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要見積もり | (株) 昭和真空 | 6.7×10-5Pa以下 | 大気圧より4.0×10-4Paまで20分以内 | 電子銃270°偏向、電源16kW | MAX150℃ 常用100℃ | ±1％以内 (バッチ内、バッチ間) T/S=900mm | クライオポンプ、ドライポンプ、メカニカルブースターポンプ | W800mm×D800mm×H1,300mm、SUS304製 | W3,700mm×D4,300mm×H2,400mm | φ3 200V 約40KVA (115A) | φ3 200V 約25KVA (73A) | 0.2MPa以上 (差圧) 、44L/min、20~25℃ | 0.7MPa (設定圧0.5MPa) 、接続口径Rc1/2 | 0.05MPa (設定圧0.02MPa) 、接続口径SWL1/4 |
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使用用途が保護膜の製品
蒸着装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜排気時間 分
10 - 15 15 - 20 20 - 25排気系主ポンプ
クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ操作方法
全自動 手動 自動基板サイズ mm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000チャンバーサイズ mm
150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400蒸発方式
抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱基板加熱温度 ℃
100 - 500 500 - 800 800 - 1,000膜厚分布 %
1 - 5 5 - 15
