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メーカー
(株) 昭和真空
処理方式
ロードロック式カルーセル型
排気ポンプ
油回転ポンプ+クライオポンプ
設置寸法
W1,280mm×D1,150mm×H1,873mm
装置重量
1,500kg
電源容量
AC200~220V/17kVA (50A)
カソード
5インチ×7インチ 2式
基板トレイ φ3
トレイW90mm×L200mm
基板トレイ φ4
トレイW120×L200mm
成膜有効範囲 φ3
トレイW75mm
成膜有効範囲 φ4
トレイW100mm
軸数 φ3用
12軸
軸数 φ4用
9軸
ウエハ枚数 φ3用
12枚
ウエハ枚数 φ4用
9枚
膜厚分布 トレイ内
±2％
膜厚分布 トレイ間
±2％
処理バッチ数 φ3
42バッチ/日 (22時間稼働想定)
処理バッチ数 φ4
47バッチ/日 (22時間稼働想定)
処理枚数 φ3
512枚/日 (22時間稼働想定)
処理枚数 φ4
424枚/日 (22時間稼働想定)
到達圧力
1.0×10-3Pa以下 (全室排気)
排気時間 仕込・取出室
1.0×101Paまで2分以内
基板加熱温度
150℃以上を確認
型番
SPC-2507取扱企業
三弘エマテック株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2024年9月6日にレビュー済み
顧客対応への満足度
迅速な回答、説明があった。
初回対応までの時間への満足度
27.47時間
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スパッタリング装置の製品88点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | メーカー | 処理方式 | 排気ポンプ | 設置寸法 | 装置重量 | 電源容量 | カソード | 基板トレイ φ3 | 基板トレイ φ4 | 成膜有効範囲 φ3 | 成膜有効範囲 φ4 | 軸数 φ3用 | 軸数 φ4用 | ウエハ枚数 φ3用 | ウエハ枚数 φ4用 | 膜厚分布 トレイ内 | 膜厚分布 トレイ間 | 処理バッチ数 φ3 | 処理バッチ数 φ4 | 処理枚数 φ3 | 処理枚数 φ4 | 到達圧力 | 排気時間 仕込・取出室 | 基板加熱温度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 要見積もり | (株) 昭和真空 | ロードロック式カルーセル型 | 油回転ポンプ+クライオポンプ | W1,280mm×D1,150mm×H1,873mm | 1,500kg | AC200~220V/17kVA (50A) | 5インチ×7インチ 2式 | トレイW90mm×L200mm | トレイW120×L200mm | トレイW75mm | トレイW100mm | 12軸 | 9軸 | 12枚 | 9枚 | ±2％ | ±2％ | 42バッチ/日 (22時間稼働想定) | 47バッチ/日 (22時間稼働想定) | 512枚/日 (22時間稼働想定) | 424枚/日 (22時間稼働想定) | 1.0×10-3Pa以下 (全室排気) | 1.0×101Paまで2分以内 | 150℃以上を確認 |
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