メーカー 27社
製品 107点

メーカー 27社製品 107点

真空炉
メーカー27社・107製品【2024年】

真空炉についての概要、用途、原理などをご説明します。また、真空炉のメーカー27社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。真空炉関連企業の2024年12月注目ランキングは1位:中日本炉工業株式会社、2位:中外炉工業株式会社、3位:株式会社IHI機械システムとなっています。

真空炉とは？
真空炉のメーカー27社
真空炉107製品

監修者: 前田理也

早稲田大学大学院でMBE法による窒化物半導体成長に関する研究に従事。2016年に大学院を修了後、非鉄金属系メーカーへ入社。金属製錬工場における設備保全・エンジニアリングの業務に従事。2022年に化学系メーカーへ転職。同様の業務に従事。

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真空炉とは

真空炉とは、真空熱処理加工ができる炉です。

炉の中を真空にした状態で対象物を加熱するため、対象物の表面を酸化させずに加工することができます。脱炭を防止し、熱処理した後にステンレスなどの光沢を維持することも可能です。

また、表面の清浄性が高いため、異種の金属の接合もきれいに加工できます。加熱から冷却をゆるやかに行うため、歪みを減らせるのが大きな特徴です。

二酸化炭素の排出量が少なく済み、寸法や硬度のバラつきも減らせる処理方法です。真空炉に窒素ガスなどを流しながら熱処理を行う場合もあります。

真空炉の使用用途

真空炉は主に金属や半導体の加工に使用されます。以下は真空炉の使用用途一例です。

金属の焼き入れ、焼き戻しや焼結
エバポレータなどのろう付け
焼鈍

また、以下は真空炉で製作する製品の一例です。

超硬工具用の高級鋼
マグネットやコンデンサなどの電子製品材料
自動車部品や産業機械部品

特殊な機能が要求される金属が真空炉で作製されます。真空炉で処理した金属は光輝性が高い特徴があり、表面の酸化や不純物を減らすことが可能です。

利点が多い真空炉ですが、メンテナンス費用や初期導入コストが高いという欠点もあります。

真空炉の原理

真空炉は油回転ポンプやターボ分子ポンプなどを組み合わせて、炉内の空気を排気して高真空状態を維持します。高真空で酸素がない状態で加熱すると、酸化を防ぐことが可能です。

1. 容器材料

炉の容器材質は、ステンレスを使用する場合が一般的です。1,000℃～2,300℃までの加熱が可能で、タングステン、モリブデン、炭化ケイ素といったメタルヒーターで加熱しています。

小型の炉には、アルミナや石英ガラスによる管状炉の中に対象物を入れて加熱する製品も販売されています。ヒーター材にはカンタル線などが使用され、700℃～1,600℃程度まで加熱することが可能です。

2. 冷却方式

冷却方式は自然冷却、ガス冷却、油冷却などがあります。高温の場合には容器を二重構造にして水冷する方式も取られています。また、高温の温度測定には外部から放射温度計で測定されます。

標準的な真空炉では加熱と冷却を同じ室で行いますが、近年作業効率を高めるために別の室に分ける製品も登場しています。

真空炉の構造

真空炉は、搬送・加熱・冷却の3工程により被熱処理品を熱処理加工します。熱処理部品の種類や目的によって大きく「一室型」と「多室型」の2つの構造に大別されます。

1. 一室型真空炉

一室型は、作業員が被処理品を炉内に搬送・設置し、一室で加熱と冷却を行う真空炉です。加熱と冷却工程を同室で行うため、急激な温度差に耐える必要があります。ヒータや構造部材には耐熱性ステンレス鋼やカーボン部材が使用されます。

構造がシンプルなため、小型から大型までラインナップが豊富な点も特徴です。冷却は炉内と被熱処理品の汚染を防止するため、自然冷却か窒素などによる不活性ガス冷却が採用されます。冷却ガスの吹出し口構造や攪拌ファンによって、均一で汚染の少ない冷却が可能です。

したがって、表面の汚染や変形に敏感な製品の処理に適しています。一方で、前の処理が完了するまで次の被熱処理品を投入できないため、生産性が低いのがデメリットです。

2. 多室型真空炉

多室型は、搬送・加熱・冷却工程を2室以上で行う構造の真空炉です。搬送室に投入すれば基本は設定通り全自動で加熱・冷却を完了します。ゾーン毎に温度制御できたり、小バッチの加熱室を複数設けて処理時間をずらしたりすることが可能です。

上記工夫によって、生産性を向上することができる点が特徴です。冷却を別室にすることで、油などの冷却能力の高い液体冷媒が選択可能です。冷却室が加熱されないため、高い冷却能を維持することができます。

焼入れ性が低く、冷却速度に敏感な金属材料などでもしっかり性能を出すことができます。一方で、冷媒による処理材の汚染があることから熱処理後に洗浄が必要です。冷却速度が速いために歪や割れが発生する危険もあります。

真空炉のその他情報

真空炉のカーボン部材

真空炉には、カーボングラファイトやC/Cコンポジットなどのカーボン部材が使用されます。使用箇所は発熱体や構造材、熱処理治具です。

カーボン部材は耐熱性が高く、最高3,000℃までの耐熱性があります。軽量で熱膨張係数が小さく、熱疲労による変形が小さく低熱容量な点が特徴です。

軽量なため、被熱処理品の積載量アップと段取り負荷の低減が可能です。変形しにくいためランニングコストの低減にもつながります。低熱容量で省エネ効果も高いことから、多くの生産性向上効果のメリットがあります。

ただし、加熱時にカーボンが揮発するため、炉内や被熱処理部品の汚染が発生する点がデメリットです。冷却方式もガス冷却だけに限定されます。

参考文献
https://www.chushin-koshuha.co.jp/technology/technology04/
https://chugai.co.jp/pro_01_parts_01/
https://www.satovac.co.jp/products/vacuum_equipment/furnace/index.html
https://www.toyotanso.co.jp/Products/application/heat-treatment.html

真空炉のカタログ12件をまとめてダウンロードできます！

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真空炉メーカー 27社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

◉ 超高温小型実験炉【Mini-BENCH-prism】PLCセミオート制御注目製品
テルモセラ・ジャパン株式会社

◉Max2000℃
◉加熱範囲：
- 円筒状ヒーター：最大Φ80 x 100mmるつぼ焼成用
- 面状ヒーター：Φ1"〜6"ウエハー用
◉PLCセミオートコントロール
「真空/パージ」「ガス置換」「ベント」を自動制御
◉MFC最大3系統自動流量制御（又は手動調整）
◉APC自動圧力制御

真空熱処理炉　NVFシリーズ注目製品
中日本炉工業株式会社

・良好な温度分布を実現、さらに加圧冷却方式を採用することで焼入れ性能をUP。
・全自動プログラムによる処理ができ、初めて熱処理炉を導入されるお客様でも安心してご使用いただけます。
・小型~大型まで幅広いラインアップを取り揃えており、お客様にベストマッチする真空炉を創ります。

高温炉・真空炉用コンポーネント注目製品
プランゼージャパン株式会社

モリブデンやタングステンを使用した、極めてエネルギー効率や耐久性の高い高温炉用コンポーネントを製造しています。
ホットゾーン
HIPシリンダー
高温用シールド
加熱ヒーター
ルツボ、焼結ボートなど

- - テルモセラ・ジャパン株式会社
    テルモセラ・ジャパン実験炉製品一覧
  - 会社サイト創業: 2010年会社詳細
  - 住所: 東京都中央区日本橋3丁目2番14号新槇町ビル別館第一 2階
- カスタムメイド対応短納期イージーメンテナンス
  
  最高温度2000℃まで焼成実験が可能なR&D用超高温マルチ雰囲気実験炉。新素材・材料開発、半導体・電子部品など先端技術開発部門での様々な加熱焼成実験に活用いただけます。
- - 中日本炉工業株式会社メーカー
    工業炉ラインアップ一覧
  - 会社サイト創業: 1965年従業員数: 109人資本金: 20,000,000円会社詳細
  - 住所: 愛知県あま市木折八畝割8
- テスト可能真空熱処理炉オーダーメイド対応
  
  1965年から続く業歴、豊富な経験と新しい技術により真空炉および各種工業炉の設計、製作、施工の一貫メーカーです。
  自社製炉を用いた熱処理受託加工も行っています。
- - プランゼージャパン株式会社
    高温炉コンポーネント製品一覧
  - 会社サイト創業: 1965年従業員数: 137人資本金: 177,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都東京都港区六本木1-9-10アークヒルズ仙石山森タワー
- リフラクトリーメタルホットゾーンオンラインショップ
  
  モリブデン・タングステンなどの高融点金属を、粉末から製造するオーストリアのPlansee SE直系の日本法人です。
  エレクトロニクス、自動車、メディカル、航空宇宙など、様々な用途の部品を製造しています。
- - 株式会社伸友メーカー
    真空炉
  - 会社サイト創業: 1968年従業員数: 30人会社詳細
  - 住所: 広島県福山市一文字町14番31号
- - 株式会社タナベメーカー
    真空炉
  - 会社サイト創業: 1982年従業員数: 170人会社詳細
  - 住所: 新潟県糸魚川市大字大野978
- - 株式会社サーモ理工メーカー
    赤外線真空炉 IVFシリーズ
  - 会社サイト創業: 1982年会社詳細
  - 住所: 東京都三鷹市下連雀8丁目7番3号三鷹ハイテクセンター
- - 株式会社IHI機械システムメーカー
    真空炉一覧
  - 会社サイト創業: 1937年従業員数: 310人会社詳細
  - 住所: 東京都江東区豊洲三丁目1-1豊洲IHIビル
- - 有限会社イーガーコーポレーションメーカー
    手のひら真空炉
  - 会社サイト従業員数: 5人資本金: 3,000,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府泉北郡忠岡町馬瀬3丁目1番1号
- - 富士電波工業株式会社メーカー
    真空・常圧雰囲気焼結炉
  - 会社サイト創業: 1948年従業員数: 135人資本金: 336,500,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市淀川区新高2丁目4番36号
- - 中外炉工業株式会社メーカー
    真空炉
  - 会社サイト上場(東証プライム) 従業員数: 427人会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市中央区平野町3丁目6番1号
- - ヴァーダー・サイエンティフィック株式会社メーカー
    真空炉
  - 会社サイト創業: 1999年従業員数: 16人会社詳細
  - 住所: 東京都東京都渋⾕区初台1丁⽬46番3号シモモトビル 10階
- - フルテック株式会社メーカー
    最大温度　1,200℃以下一覧
  - 会社サイト創業: 1989年会社詳細
  - 住所: 大阪府八尾市太田4丁目141番地
- - ヒートシステム株式会社メーカー
    真空炉
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 福岡県北九州市八幡西区夕原町12番4号
- - エア・ウォーター株式会社メーカー
    真空ガス置換炉
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1929年従業員数: 666人会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市中央区南船場2丁目12番8号エア・ウォータービル
- - DOWAサーモテック株式会社メーカー
    メタルホットゾーン高温真空炉一覧
  - 会社サイト創業: 2006年従業員数: 520人会社詳細
  - 住所: 愛知県名古屋市瑞穂区浮島町19番1号
- - 株式会社大東工業
    真空高熱炉
  - 会社サイト創業: 1970年従業員数: 28人会社詳細
  - 住所: 東京都大田区矢口２丁目２番地５号
- - 株式会社吉川製作所
    真空炉 HT-090
  - 会社サイト創業: 1976年従業員数: 70人会社詳細
  - 住所: 奈良県大和高田市大字田井166-4
- - 株式会社倉田技研
    真空炉
  - 会社サイト創業: 1981年資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 滋賀県湖南市下田3782番地25
- - 株式会社片桐鉄工所
    縦型真空炉
  - 会社サイト創業: 1964年従業員数: 16人資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 新潟県新潟市江南区曙町3-11-35
- - 島津金属株式会社
    真空炉
  - 会社サイト創業: 1958年従業員数: 20人会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市金沢区福浦2-17-4
- - 大亜真空株式会社
    真空炉
  - 会社サイト創業: 1939年従業員数: 69人会社詳細
  - 住所: 千葉県八千代市大和田新田495
- - ナイトレックスメタル
    真空炉
  - 会社サイト創業: 1984年従業員数: 1,000人会社詳細
  - 住所: 東京都千代田区麹町3-4-3　シエルブルー麹町202
- - サンファーネス株式会社
    真空炉
  - 会社サイト創業: 1980年従業員数: 18人会社詳細
  - 住所: 大阪府吹田市豊津町9-1 ビーロット江坂ビル
- - アルファ技研株式会社
    真空炉
  - 会社サイト創業: 1982年会社詳細
  - 住所: 東京都足立区栗原3-16-4
- - Ipsen株式会社
    真空炉
  - 会社サイト創業: 2008年従業員数: 17人会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市鶴見区安田2-3-2
- - Zhengzhou Brother Furnace Co.,Ltd.
    真空炉
  - 会社サイト創業: 1998年会社詳細
  - 本社: 中国
- - 株式会社マツボー商社・代理店
    真空炉・高温熱処理炉　Vacuum High Temperature Furnace
  - 会社サイト創業: 1949年会社詳細
  - 住所: 東京都港区虎ノ門3-8-21　虎ノ門33森ビル4F

真空炉 2024年12月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2024年12月の注目ランキングベスト10

注目ランキング導出方法

順位	会社名	クリックシェア
1	中日本炉工業株式会社	15.4%
2	中外炉工業株式会社	7.7%
3	株式会社IHI機械システム	7.7%
4	プランゼージャパン株式会社	5.8%
5	テルモセラ・ジャパン株式会社	5.8%
6	株式会社伸友	4.8%
7	島津金属株式会社	4.8%
8	フルテック株式会社	4.8%
9	株式会社タナベ	3.8%
10	DOWAサーモテック株式会社	3.8%