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#機能性材料研究

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CVD法

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エピクエストの成膜装置

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18 点の製品

株式会社エピクエスト

MOCVD装置 縦型リアクタ SV2001

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SVシリーズは、優れたシミュレーション技術と長年の経験から最適設計された縦型石英リアクタを採用しています。GaAs系・InP系材料におい...


株式会社エピクエスト

MOCVD装置 縦型リアクタ SV3001

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SVシリーズは、優れたシミュレーション技術と長年の経験から最適設計された縦型石英リアクタを採用しています。GaAs系・InP系材料におい...


株式会社エピクエスト

MOCVD装置 縦型リアクタ SV4001

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SVシリーズは、優れたシミュレーション技術と長年の経験から最適設計された縦型石英リアクタを採用しています。GaAs系・InP系材料におい...


株式会社エピクエスト

MOCVD装置 縦型リアクタ SV2003

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MOCVD装置 縦型リアクタ SVS2001

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SVシリーズは、優れたシミュレーション技術と長年の経験から最適設計された縦型石英リアクタを採用しています。GaAs系・InP系材料におい...


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MOCVD装置 縦型リアクタ SVS3001

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SVシリーズは、優れたシミュレーション技術と長年の経験から最適設計された縦型石英リアクタを採用しています。GaAs系・InP系材料におい...


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MOCVD装置 縦型リアクタ SVS4001

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SVシリーズは、優れたシミュレーション技術と長年の経験から最適設計された縦型石英リアクタを採用しています。GaAs系・InP系材料におい...


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MOCVD装置 縦型リアクタ SVS2003

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MOCVD装置 横型リアクタ SH2001

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SHシリーズは、窒化物半導体用として特別に開発された横型ステンレス製リアクタを採用しています。シミュレーション技術により設計され...


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MOCVD装置 横型リアクタ SH3001

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SHシリーズは、窒化物半導体用として特別に開発された横型ステンレス製リアクタを採用しています。シミュレーション技術により設計され...


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MOCVD装置 横型リアクタ SH4001

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SHシリーズは、窒化物半導体用として特別に開発された横型ステンレス製リアクタを採用しています。シミュレーション技術により設計され...


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MOCVD装置 横型リアクタ SH2003

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SHシリーズは、窒化物半導体用として特別に開発された横型ステンレス製リアクタを採用しています。シミュレーション技術により設計され...


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液体原料供給MOCVD装置 小型研究用 MPC1100V

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液体原料供給MOCVD装置 研究用 MPC2100H

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液体原料供給MOCVD装置 研究用・準生産用 MPC6100

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高温CVD装置 SiC用CVD装置 HTC3001

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高温CVD装置 オール・イン・ワンCVD装置

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本装置は、プロセスユニット部、ガス制御部、シリンダーキャビネット部、電気制御部を1.3m×1.3mのフットプリントに設置した、オール・イ...


株式会社エピクエスト

高温CVD装置 高温CVD装置 SH2001-HTA

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