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項目別
使用用途
#半導体製造
センサ設置方式
配管外装着型
測定対象媒体
液体専用型
気体対応型
呼び口径レンジ A
0 - 50
50 - 100
100 - 200
200 - 300
300 - 500
測定範囲 m/s
0 - 0.1
0.1 - 1
1 - 5
5 - 15
15 - 20
20 - 30
30 - 40
最大測定誤差 %
0 - 1
1 - 2
2 - 3
アナログ出力 mA
0 - 4
4 - 20
20 - 24
電源 V
80 - 200
200 - 260
周囲温度レンジ °C
-40 - -10
-10 - 0
0 - 50
50 - 60
保護等級 IP
65
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環境計測を超音波技術で拓く、ハイコストパフォーマンスの流量計。 ■特長 ・大型LCD採用で多彩な表示機能 ・簡易フロートレンドグラフ...
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半導体装置の純水・薬液の流量管理に ■特長 ・配管を切断する必要のないクランプオン式センサ採用 ・広いレンジアビリティー ・低消費...
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