6インチ高純度半絶縁型SiCウェハ (吉永商事株式会社) のカタログ情報
6インチ高純度半絶縁型SiCウェハ
製品個別カタログ
カタログ紹介
吉永商事株式会社では、6インチの高純度半絶縁型SiCウェハの提供を行っております。
本製品は4H多形の単結晶SiCをベースに、CMP処理が施されたエピ対応の高平坦Si面を有しております。抵抗率は1E8Ω·cm以上と非常に高く、マイクロパイプ密度も1個/cm²以下に抑えられており、高周波デバイスやセンサー、光通信モジュール用途に適した品質となっております。
また、GBIR・Warp・TTV・LTV等の各種フラットネス項目においても、SEMI規格に準拠した高精度管理がなされており、厳格な実験・工程評価にも対応可能です。
真空包装・窒素充填による梱包、カセット単位での納品、さらには仕様カスタマイズのご相談も承っております。小ロットからのご提供にも柔軟に対応いたしますので、ご興味のある方はぜひお気軽にお問い合わせください。
本製品は4H多形の単結晶SiCをベースに、CMP処理が施されたエピ対応の高平坦Si面を有しております。抵抗率は1E8Ω·cm以上と非常に高く、マイクロパイプ密度も1個/cm²以下に抑えられており、高周波デバイスやセンサー、光通信モジュール用途に適した品質となっております。
また、GBIR・Warp・TTV・LTV等の各種フラットネス項目においても、SEMI規格に準拠した高精度管理がなされており、厳格な実験・工程評価にも対応可能です。
真空包装・窒素充填による梱包、カセット単位での納品、さらには仕様カスタマイズのご相談も承っております。小ロットからのご提供にも柔軟に対応いたしますので、ご興味のある方はぜひお気軽にお問い合わせください。
