6インチ N型 SiCウェーハ (吉永商事株式会社) のカタログ情報
6インチ N型 SiCウェーハ
製品個別カタログ
カタログ紹介
吉永商事株式会社が取り扱う「YN-4N46」は、6インチ対応のn型SiCウェーハであり、パワーデバイス、RFデバイス、LEDなどの用途に適した高品質製品です。
本製品は4H多形の単結晶SiCを使用し、<11-20>方向に4°オフセットされたSi面CMP仕上げを採用しています。Ra≤0.2nmという高い表面平滑性により、Epi成長にも対応可能な高平坦・低欠陥のウェーハとしてご提供しています。
TTVは≤5μm、Bow±25μm、Warp≤35μmを実現し、マイクロパイプ密度＜1個/cm²、TSD密度≤500個/cm²と、欠陥管理にも優れており、デバイス歩留まりの向上に貢献します。
梱包は窒素充填・真空密封、マルチカセット形式での納品となっており、小ロット・個別仕様への対応も可能です。研究用途から量産まで、幅広くご活用いただけます。
本製品は4H多形の単結晶SiCを使用し、<11-20>方向に4°オフセットされたSi面CMP仕上げを採用しています。Ra≤0.2nmという高い表面平滑性により、Epi成長にも対応可能な高平坦・低欠陥のウェーハとしてご提供しています。
TTVは≤5μm、Bow±25μm、Warp≤35μmを実現し、マイクロパイプ密度＜1個/cm²、TSD密度≤500個/cm²と、欠陥管理にも優れており、デバイス歩留まりの向上に貢献します。
梱包は窒素充填・真空密封、マルチカセット形式での納品となっており、小ロット・個別仕様への対応も可能です。研究用途から量産まで、幅広くご活用いただけます。
