真空炉『MiniLab-CF 超高温マルチ雰囲気実験炉』 (テルモセラ・ジャパン株式会社) のカタログ情報
真空炉『MiniLab-CF 超高温マルチ雰囲気実験炉』
製品個別カタログ
カタログ紹介
真空炉『MiniLab-CF 超高温マルチ雰囲気実験炉』
3種類のヒーター材料であらゆる使用環境に対応する超高温マルチ雰囲気実験炉。
Max2900℃(C/Cコンポジット：C熱電対+2色放射温度計） Max1600℃（SiC3コーティングヒーター） Max2900℃（TiC3コーティングヒーター） 新素材・新材料開発、及び半導体・電子部品・燃料電池・大陽電池などの先端基礎技術開発部門でのさまざまなアプリケーションに対応。
◆最高温度◆ Max2900℃(C/Cコンポジット：C熱電対+2色放射温度計） Max1600℃（SiC3コーティングヒーター） Max2900℃（TiC3コーティングヒーター） ◆主な特徴◆ ・セミオートPLCシーケンス操作。煩雑な操作を必要とせずボタン操作のみで真空引き〜ベント〜ガス導入を実行 ・加熱試料室サイズ：標準Φ100 ・省スペース ・ドライスクロールポンプ付属 ・インターロック（チャンバー温度異常、冷却水異常、過昇温） ◆基本仕様◆ ・電源仕様：AC200V 50/60HZ 8KVA ・プログラム温度調節計、C熱電対、2色放射温度計（2900℃用） ◆オプション◆ ・APCコントロール（オプション）： -1) Upstreamコントロール：MFC供給量をPIDループ自動制御、又は -2) Downstreamコントロール：排気側開度自動調整 ・回転機構 ・SECS/GEM通信
3種類のヒーター材料であらゆる使用環境に対応する超高温マルチ雰囲気実験炉。
Max2900℃(C/Cコンポジット：C熱電対+2色放射温度計） Max1600℃（SiC3コーティングヒーター） Max2900℃（TiC3コーティングヒーター） 新素材・新材料開発、及び半導体・電子部品・燃料電池・大陽電池などの先端基礎技術開発部門でのさまざまなアプリケーションに対応。
◆最高温度◆ Max2900℃(C/Cコンポジット：C熱電対+2色放射温度計） Max1600℃（SiC3コーティングヒーター） Max2900℃（TiC3コーティングヒーター） ◆主な特徴◆ ・セミオートPLCシーケンス操作。煩雑な操作を必要とせずボタン操作のみで真空引き〜ベント〜ガス導入を実行 ・加熱試料室サイズ：標準Φ100 ・省スペース ・ドライスクロールポンプ付属 ・インターロック（チャンバー温度異常、冷却水異常、過昇温） ◆基本仕様◆ ・電源仕様：AC200V 50/60HZ 8KVA ・プログラム温度調節計、C熱電対、2色放射温度計（2900℃用） ◆オプション◆ ・APCコントロール（オプション）： -1) Upstreamコントロール：MFC供給量をPIDループ自動制御、又は -2) Downstreamコントロール：排気側開度自動調整 ・回転機構 ・SECS/GEM通信
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