MEMS真空封止パッケージ向け リッド成膜型ゲッター PageLid (サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー) のカタログ情報
MEMS真空封止パッケージ向け リッド成膜型ゲッター PageLid
製品個別カタログ
カタログ紹介
MEMS真空封止パッケージ向けゲッターフィルム Pageシリーズは、MEMSパッケージに特化して開発された製品です。
セラミックやKovarリッド等にパターニングしたゲッターフィルムを成膜、パッケージに要求される高真空レベルを保持し、デバイスの長期信頼性・安定性に貢献します。
PageWaferは、軍事･防衛関連/自動車/工業用途/民生用途向けのハーメチックシールされた様々なMEMS製品に一般的に使用されており、パッケージ内の真空を維持する技術として広く受け入れられています。
【特徴】
○ 高真空パッケージに対応
○ 長期信頼性の確保
○ 活性ガスに対する高い吸着性能
○ ほぼ全ての封止プロセスに適応した活性化温度
○ 二種類のパターニング方式に対応可（メタルマスク/リフトオフ）
〇 パーティクルフリー
セラミックやKovarリッド等にパターニングしたゲッターフィルムを成膜、パッケージに要求される高真空レベルを保持し、デバイスの長期信頼性・安定性に貢献します。
PageWaferは、軍事･防衛関連/自動車/工業用途/民生用途向けのハーメチックシールされた様々なMEMS製品に一般的に使用されており、パッケージ内の真空を維持する技術として広く受け入れられています。
【特徴】
○ 高真空パッケージに対応
○ 長期信頼性の確保
○ 活性ガスに対する高い吸着性能
○ ほぼ全ての封止プロセスに適応した活性化温度
○ 二種類のパターニング方式に対応可（メタルマスク/リフトオフ）
〇 パーティクルフリー
カタログについて
- カタログ名
- MEMS真空封止パッケージ向け リッド成膜型ゲッター PageLid
- 取り扱い企業
- サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー
- 該当カテゴリ
- ガス吸着剤
- カタログタイプ
- 製品個別カタログ
