HEMTO-TDS カタログ (株式会社ユニソク) のカタログ情報
HEMTO-TDS カタログ
製品個別カタログ
カタログ紹介
＜製品概要＞
微小な基板や薄膜中に含まれる水素の検出を、熱脱離法により行う装置です。水素固溶が少ないBeCuチャンバーを使用するとともに、赤外レーザーを使用し試料基板のみを効率的に加熱することにより、加熱中の水素のバックグランドの増加を抑え、試料からの脱離水素を高感度で測定できる装置です。
また、検出には四重極質量分析器を使用しているため、水素以外の脱離物質についても分析が可能です。
本装置の開発は第103回市村清新技術財団新技術開発助成により推進され、東京工業大学細野研究室との産学連携製品です。
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カタログについて
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