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精密振動制御商品 パッシブ除振からアクティブ除振まで
(特許機器株式会社) のカタログ
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精密振動制御商品 パッシブ除振からアクティブ除振まで
製品総合カタログ
カタログ紹介
パッシブ除振からダブルアクティブ制御まで!
ナノ時代のファインテクノロジーを支える
当資料は、当社と共にV-ソリューションを追究する設計者のためのテクニカルガイダンスです。
装置に合わせた微振動制御技術による除振系の選定をはじめ、空圧アクティブ微振動制御ユニットの構成やαシリーズのシステム構成、振動制御技術バリエーションなどを掲載。
掲載内容(抜粋)
◆ナノ時代のファインテクノロジーを支える「精密振動系」
◆微振動環境をトータルサポートする特許機器
◆装置に合わせた微振動制御技術による除振系の選定
◆空圧アクティブ微振動制御ユニットの構成
◆空圧アクティブ微振動制御システムの構成
◆空圧パッシブ除振システムの構成
◆空圧パッシブ除振台「デスク型」「卓上型」
◆振動制御技術バリエーション
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
関連リンク -https://www.tokkyokiki.co.jp/product-nanotechnology/
カタログについて
- カタログ名
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精密振動制御商品 パッシブ除振からアクティブ除振まで
- 取り扱い企業
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特許機器株式会社
- 会社区分
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メーカー
- 該当カテゴリ
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電子顕微鏡
半導体露光装置
半導体検査装置
除振台
半導体製造装置
電子ビーム描画装置
- カタログタイプ
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製品総合カタログ