精密振動制御商品 パッシブ除振からアクティブ除振まで (特許機器株式会社) のカタログ情報

精密振動制御商品 パッシブ除振からアクティブ除振まで (特許機器株式会社) のカタログ

精密振動制御商品 パッシブ除振からアクティブ除振まで

製品総合カタログ

カタログ紹介

パッシブ除振からダブルアクティブ制御まで!
ナノ時代のファインテクノロジーを支える

当資料は、当社と共にV-ソリューションを追究する設計者のためのテクニカルガイダンスです。

装置に合わせた微振動制御技術による除振系の選定をはじめ、空圧アクティブ微振動制御ユニットの構成やαシリーズのシステム構成、振動制御技術バリエーションなどを掲載。

掲載内容(抜粋)
◆ナノ時代のファインテクノロジーを支える「精密振動系」
◆微振動環境をトータルサポートする特許機器
◆装置に合わせた微振動制御技術による除振系の選定
◆空圧アクティブ微振動制御ユニットの構成
◆空圧アクティブ微振動制御システムの構成
◆空圧パッシブ除振システムの構成
◆空圧パッシブ除振台「デスク型」「卓上型」
◆振動制御技術バリエーション

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク -https://www.tokkyokiki.co.jp/product-nanotechnology/

カタログについて

カタログ名
精密振動制御商品 パッシブ除振からアクティブ除振まで
取り扱い企業
特許機器株式会社
会社区分
メーカー
該当カテゴリ
電子顕微鏡 半導体露光装置 半導体検査装置 除振台 半導体製造装置 電子ビーム描画装置
カタログタイプ
製品総合カタログ

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